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光学微电子工程净化解决方案

* 来源: * 作者: admin * 发表时间: 2024-04-21 19:21:44 * 浏览: 36


净化方案一:

组合式空气处理机组+冷水机组+高效送风口

这是一个最传统的净化空调系统的设计方案。组合式空气处理机组里含有各种功能段,如混合段、初效过滤段、表冷段、二次回风段(或中间段)、加热段、加湿段、中效过滤段、风机段等。其冷源由冷水机组提供。

方案特点:

A.建议新风经过集中处理后再与回风混合,这样可以减少表冷段的冷处理负担;

B.这类方案一般可以适用洁净度较高的如百级、千级或万级、十万级等较低的净化无尘厂房。

净化方案二:

水冷柜机+增压风柜+高效送风口

与前种方案比较,这是相对比较简单的空调方案。它可以大大地缩小机房的面积,水冷柜机可以根据具体的情况布置于较小机房内或净化车间增压风柜也可以布置于机房内或吊在机房内或在夹层内

方案特点:

这种方案可以是一次回风也可以是二次回风,具体根据车间的大小情况而定;这类方案一般可以适用于洁净度为千级、万级、十万级等的净化无尘厂房。

净化方案三:

分体空调柜机+FFU送风口

这是最简易的一个空调方案。是直接将分体空调柜机布置于车间内,并用彩钢围护起来,在柜机回风口处再在彩钢板上开回风口(带初效过滤网):KLC风机过滤单元FFU均匀布置于吊顶天花。这个方案适用于对室内温湿度精度要求不高的无尘车间。

方案特点:

A、无尘车间的洁净度:LCD制屏的简略流程为:清洗→印刷取向膜→磨擦→密封印刷层散布隔垫物→组合→划线和切割→LC注入→贴偏振片→制屏终检。

B、温湿度要求:温度一般为24±2℃,相对湿度为55±5%。

C、新风量大

D、送风量大

需要净化区域一般包括:

1、洁净生产区

2、洁净辅助间(包括人员净化用房、物料净化用室和部分生活用室等)

3、管理区(包括办公、值班、管理和休息等)

4、设备区(包括净化空调系统应用、电气用房、高纯水和高纯气用房、冷热设备用房)

结构材料:

1、净化厂房墙、顶板材一般多采用50mm厚的夹芯彩钢板制造,其特点为美观、刚性强。圆弧墙角、门、窗框等一般采用专用氧化铝型材制造。

2、地面可采用环氧自流平地坪或高级耐磨塑料地板,有防静电要求的,可选用防静电型。

3、送回风管道用热镀锌板制成,贴净化保温效果好的阻燃型PF发泡塑胶板。

4、高效送风口用不锈钢框架,美观清洁,冲孔网板用烤漆铝板,不生锈不粘尘,宜清洁。

光学微电子净化工程亦名无尘室或清净室,目前已是半导体、精密制造、波晶制造、光学制造、线路板制造和生物化学、医药、食品制造等行业不可或缺的重要设施。近几年来,由于技术之创新发展,对于产品的高精密度化、细小型化之需求更为迫切,如超大型积体电路之研究制造,已成为世界各国在科技发展上极为重视的项目,而我公司的设计理念及施工技术在行业中则处于领先地位

光学微电子净化工程一般包括:

1、洁净生产区

2、洁净辅助间(包括人员净化用房、物料净化用室和部分生活用室等)

3、管理区(包括办公、值班、管理和休息等)

4、设备区(包括净化空调系统应用、电气用房、高纯水和高纯气用房、冷热设备用房)

光学微电子净化工程结构材料:

1、净化厂房墙、顶板材一般多采用50mm厚的夹芯彩钢板制造,其特点为美观、刚性强。圆弧墙角、门、窗框等一般采用专用氧化铝型材制造。

2、地面可采用环氧自流坪地坪或高级耐磨塑料地板,有防静电要求的,可选用防静电型。

3、送回风管道用热镀锌板制成,贴净化保温效果好的阻燃型PF发泡塑胶板

4、高效送风口用不锈钢框架,美观清洁,冲孔网板用烤漆铝板,不生锈不粘尘,宜清洁。